Energiedispersive Röntgenspektroskopie ( EDX) ist eine Messmethode aus der Materialanalytik. Das Verfahren gehört zur Gruppe der Röntgenspektroskopien und nutzt die von einer Probe emittierte Röntgenstrahlung für die Untersuchung der Elementzusammensetzung. Dazu werden die Atome in der Probe mithilfe eines Elektronenstrahls angeregt, diese senden Röntgenstrahlung mit einer elementspezifischen Energie aus.
Im EDX-Spektrum ist die Signalintensität in Abhängigkeit von der Energie der Röntgenquanten aufgetragen. Das EDX-Spektrum besteht aus elementspezifischen Peaks und dem breiten unspezifischen Untergrund, der durch Bremstrahlung erzeugt wird.
Peakidentifizierung, Peaküberlagerung und Peakentfaltung
Für die meisten Elemente gibt es im Spektrum mehrere Linien. Bei der Zuordnung von Linien muss überprüft werden, ob alle Linien eines Elementes vorhanden sind und ob ihre Intensitäten im richtigen Verhältnis zueinander stehen. Dabei sind mögliche Peaküberlagerungen mit anderen Elementen zu berücksichtigen. Dieses ist besonders wichtig bei der Peakentfaltung, wenn es zu einer Überlagerung von Signalen verschiedener Elemente kommt. Alternativ könnte eine zusätzliche Messung mit der höher auflösenden Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDX) durchgeführt werden.
Die quantitative Analyse von EDX-Spektren ist von vielen Faktoren abhängig, wie z. B. Absorption, Fluorezenz, Probenkippung, Anregungsenergie, …
Die Nachweisgrenze kann für die meisten Elemente mit Ordnungszahl größer zehn (ab Natrium) grob mit 0,1-0,2 Gew.-% abgeschätzt werden. Für Elemente niedrigerer Ordnungszahl wird die Nachweisgrenze dramatisch schlechter. Nachweisbar sind theoretisch alle Elemente mit Ordnungszahl größer vier (ab Bor).
Die örtliche Genauigkeit einer Messung im Rasterelektronenmikroskop wird durch die Eindringtiefe des Elektronenstrahls in das Material begrenzt. Beim Auftreffen des Strahls auf das Material wird dieser in der Probe gestreut, so dass die emittierten Röntgenstrahlen in einem birnenförmigen Raumvolumen mit einem Durchmesser von etwa 1 µm entstehen.
REM-EDX: Kombination mit einem Rasterelektronenmikroskop zur Elementanalyse im mikroskopischen Maßstab. Die Anregung erfolgt durch Elektronen. Aufgrund der weiten Verbreitung dieses Verfahrens wird EDX häufig als Kurzform für REM-EDX verwendet. Durch die Kombination des bildgebenden Rasterverfahrens im REM mit der Elementanalyse (EDX) ist es auch möglich Elementverteilungsbilder aufzunehmen
